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化学气相沉积石英玻璃工艺数值模拟

作者:陈琴 阮立明 张国武 高运周cvd石英玻璃偏峰现象数值模拟优化

摘要:为提高某型号立式化学气相沉积炉生产大尺寸高纯度石英玻璃过程中石英玻璃沉积体表面的温度分布均匀性,从而提高其光学性能,对立式沉积炉内石英玻璃的生产过程中温度场和速度场的分布情况进行了数值模拟。通过调整燃烧器的结构,对沉积炉原有模型进行了进一步的改进优化。结果表明改进了的燃烧器型式可以有效地消除偏峰现象,提高表面温度分布的均匀性。

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节能技术

《节能技术》(CN:23-1302/TK)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《节能技术》荣获黑龙江省优秀期刊奖,黑龙江省读者喜爱期刊奖,国防科工委国防科技期刊二等奖,中国编辑学会全国能源刊物专业委员会优秀期刊三等奖,首届《CAJ-CD规范》执行优秀期刊奖,第一届北方优秀期刊奖,第二届北方优秀期刊奖,工业和信息化部2009-2010年度科技期刊评比学术技术水平优秀奖;中文优秀期刊(1992)。改造、经验交流、学术争鸣等。

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