来源：学术之家整理 2024-11-14 22:54:3925人看过
期刊影响因子(Impact factor，IF)，是出品的期刊引证报告中的一项数据,代表期刊影响大小的一项定量指标。《微细加工技术》影响因子为0.19，
《微细加工技术》杂志简介：
主管单位：信息产业部
国内刊号：43-1140/TN
国际刊号：1003-8213
创刊时间：1983
发行周期：双月刊
微细加工技术杂志文秘服务：
无掩模光刻技术研究
电子束光刻制备5000 line／mm光栅掩模关键技术研究
基于图像分析的SEM显微视觉自动聚焦技术研究
HSQ用于电子束曝光的性能分析
利用射频与高压直接耦合等离子体注入进行不锈钢表面改性
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